Номер документа в системі: | 150829 |
Автор: | Мазель Е. З., Пресс Ф. П. |
Назва документа: | Планарная технология кремниевых приборов |
Видавництво: | Энергия |
Місто видання: | Москва |
Рік видання: | 1974 |
УДК | 621.382.002 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.382 |
Кількість сторінок | 384 с. |