| Номер документа в системі: | 151569 |
| Автор: | Малышева И. А. |
| Назва документа: | Технология производства интегральных микросхем |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1991 |
| УДК | 621.049.77.002(075.32) |
| ISBN | 5-256-00861-7 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3.049.77 |
| Кількість сторінок | 343 с. |