Номер документа в системі: | 154317 |
Автор: | Маслов В. Н. |
Назва документа: | Выращивание профильных полупроводниковых монокристаллов |
Видавництво: | Металлургия |
Місто видання: | Москва |
Рік видання: | 1977 |
УДК | 621.315.592.002+537.3 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.315 |
Кількість сторінок | 328 с. |