| Номер документа в системі: | 158924 |
| Автор: | Олексієнко С.В., Куликовський Р.А. |
| Назва документа: | Зварювання у твердій фазі в електростатичному полі вузлів кремній-скло-кремній |
| УДК | 621.791+666.1.037.4 |
| Мова документу | Українська |
| Аннотація | Досліджено особливості виготовлення вузлів кремнієвих ємнісних датчиків тиску. Розроблено технологію виготовлення багатошарових вузлів типу кремній-скло-кремній за один цикл зварювання, що забезпечує
досягнення рівноміцності обох зварних з’єднань у вузлі. |
| Кількість сторінок | С. 70-73. |