| Номер документа в системі: | 159038 |
| Автор: | Мейер Дж. |
| Назва документа: | Ионное легирование полупроводников. (Кремний и германий) |
| Видавництво: | Мир |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1973 |
| УДК | 621.315.592.002+621.382 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 296 с. |