| Номер документа в системі: | 160293 |
| Автор: | Чистяков Ю. Д., Райнова Ю. П. |
| Назва документа: | Физико-химические основы технологии микроэлектроники |
| Видавництво: | Металлургия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1979 |
| УДК | 621.3.049.77.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 408 с. |