| Номер документа в системі: | 161881 |
| Автор: | Сахаров Б. А., Вигдорович В. Н., Маслов В. Н. |
| Назва документа: | Металлургия и технология полупроводниковых материалов [Текст] |
| Видавництво: | Металлургия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1972 |
| УДК | 621.315.592.002(075.8) |
| ISBN | №32059 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315.5 |
| Кількість сторінок | 544 с. |