Номер документа в системі: | 168514 |
Автор: | Татаренков А. И., Енишерлова К. Л., Русак Т. Ф., Гриднев В. Н. |
Назва документа: | Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов |
Видавництво: | Энергия |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1978 |
УДК | 621.315.592.08 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.315.5 |
Кількість сторінок | 64 с. |