| Номер документа в системі: | 170631 |
| Автор: | Сазонов А. А., Корнилов Р. В., Кохан Н. П. |
| Назва документа: | Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1988 |
| УДК | 621.3.049.77.002.5:004.31(075.8)+621.3.049.77.002:658.5.011.56(075.8) |
| ISBN | 5-256-00143-4 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 262 с. |