| Номер документа в системі: | 171803 |
| Автор: | Мильвидский М. Г., Освенский В. Б. |
| Назва документа: | Структурные дефекты в эпитаксиальных слоях полупроводников |
| Видавництво: | Металлургия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1985 |
| УДК | 537.311.322:548.4+621.382:53+621.315.592.004 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 537 |
| Кількість сторінок | 159 с. |