Номер документа в системі: | 171861 |
Автор: | Минаков В. И., Коган М. З. |
Назва документа: | Производство тонкопленочных микросхем |
Видавництво: | Энергия |
Місто видання: | Ленинград |
Рік видання: | 1973 |
УДК | 621.3.049.772(07) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.3 |
Кількість сторінок | 176 с. |