| Номер документа в системі: | 171861 |
| Автор: | Минаков В. И., Коган М. З. |
| Назва документа: | Производство тонкопленочных микросхем |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1973 |
| УДК | 621.3.049.772(07) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 176 с. |