| Номер документа в системі: | 174047 |
| Автор: | Александров Л. Н., Бочкова Р. В., Коган А. Н., Тихонова Н. П. |
| Назва документа: | Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло |
| Видавництво: | Наука. Сиб. отд-ние |
| Місто видання: | Новосибирск |
| Рік видання: | 1991 |
| УДК | 539.23(06)+621.315.592-416.002(06) |
| ISBN | 5-02-029696-1 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 539.23 |
| Кількість сторінок | 165 с. |