| Номер документа в системі: | 174101 |
| Назва документа: | Моделирование, управление, контроль при производстве интегральных схем |
| Видавництво: | МИЭТ |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1983 |
| УДК | 621.32.049.77.002(06) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 100 с. |