| Номер документа в системі: | 174681 |
| Автор: | Запорізьк. нац. техн. ун-т. Каф. мікро- та наноелектроніки |
| Назва документа: | Методичні вказівки до практичних занять з дисципліни "Фізика наноплівок і кластерів" для бакалаврів спеціальності 6.050801 "Мікро- та наноелектроніка", денної і заочної форм навчання |
| Видавництво: | ЗНТУ |
| Місто видання: | Запоріжжя |
| Рік видання: | 2010 |
| УДК | 537.311.322:539.211(076) |
| Мова документу | Українська |
| Шифр документу | 537 |
| Аннотація | №3862 зам.1760 |
| Кількість сторінок | 30 с. |