Номер документа в системі: | 174723 |
Назва документа: | Молекулярные источники установок для молекулярно-лучевой эпитаксии |
Видавництво: | ЦНИИ"Электроника" |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1986 |
УДК | 539.23 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 539.23(оп) |
Кількість сторінок | 68 с. |