| Номер документа в системі: | 175322 |
| Автор: | Моро У. |
| Назва документа: | Микролитография |
| Видавництво: | Мир |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 621.3.049.77.002:776 |
| ISBN | 5-03-001372-5 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3.049.77 |
| Кількість сторінок | 606 с. |