| Номер документа в системі: | 176294 |
| Автор: | Моряков О. С. |
| Назва документа: | Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве |
| Видавництво: | Высш. школа |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1980 |
| УДК | 621.382.002(075.32) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 181 с. |