| Номер документа в системі: | 176306 |
| Автор: | Моряков С. С., Вихров С. А. |
| Назва документа: | Методы и средства измерения температуры в полупроводниковом производстве |
| Видавництво: | ЦНИИ "Электроника" |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1987 |
| УДК | 621.382.08 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.38(оп) |
| Кількість сторінок | 54 с. |