Номер документа в системі: | 176334 |
Автор: | Моряков О. С. |
Назва документа: | Термические процессы в микроэлектронике |
Видавництво: | Высш. школа |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1987 |
УДК | 621.3.049.77.002(07) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.3 |
Кількість сторінок | 199 с. |