Номер документа в системі: | 176335 |
Автор: | Моряков О. С. |
Назва документа: | Устройства и наладка оборудования полупроводникового производства |
Видавництво: | Высш. школа |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1989 |
УДК | 621.382.002.5(075.32) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.382 |
Кількість сторінок | 235 с. |