Номер документа в системі: | 176595 |
Автор: | Московский институт электронной техники |
Назва документа: | Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники |
Видавництво: | Б. и. |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1972 |
УДК | 621.3.049.77(06) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.3 |
Кількість сторінок | 274 с. |