| Номер документа в системі: | 176598 |
| Автор: | Московский институт электронной техники |
| Назва документа: | Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники |
| Видавництво: | Б. и. |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1974 |
| УДК | 621.3.049.77(06) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 188 с. |