| Номер документа в системі: | 176612 |
| Автор: | Московский институт электронной техники |
| Назва документа: | Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники |
| Видавництво: | Б. и. |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1977 |
| УДК | 621.3.049.774 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 119 с. |