Номер документа в системі: | 177331 |
Автор: | Томашевський О.В. |
Назва документа: | Дослідження фізико-хімічних процесів нарощування нанорозмірних плівок SiO2 |
УДК | 337.311.33 |
ББК | М і НПП |
Мова документу | Українська |
Шифр документу | Ч21 |
Кількість сторінок | C. 247-248. |