| Номер документа в системі: | 177811 |
| Автор: | Мьюрарка Ш. |
| Назва документа: | Силициды для СБИС |
| Видавництво: | Мир |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1986 |
| УДК | 621.315.55+621.3049.771.14.002.3 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 176 с. |