| Номер документа в системі: | 179366 |
| Автор: | Назаров В. А., Щербаков В. С. |
| Назва документа: | Агрегатирование и блочное конструирование в полупроводниковом машиностроение |
| Видавництво: | Изд. ун-та |
| Місто видання: | Воронеж |
| Рік видання: | 1971 |
| УДК | 621.382.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 166 с. |