| Номер документа в системі: | 181956 |
| Автор: | Жавжаров Є. Л., Матюшин В. М. |
| Назва документа: | Вплив атомарного водню на структури метал-напівпровідник. адгезія тонких металевих плівок |
| УДК | 621.3.049 |
| ББК | М і НПП |
| Мова документу | Українська |
| Аннотація | Досліджено вплив атомарного водню на зміну властивостей тонкоплівкових структур CuSi. Структури на основі тонких (20–500нм) плівок міді піддавалися дії атомарного водню при 1419–3 концентраціях 10–10м. Показано, що при такій взаємодії відбувається низькотемпературне відновлення оксиду міді, підвищуються адгезія та когезія плівок міді до підкладинок Si. |
| Кількість сторінок | С. 32-36. |