| Номер документа в системі: | 181958 |
| Автор: | Матюшин В. М., Жавжаров Є. Л. |
| Назва документа: | Вплив атомарного водню на структури метал-напівпровідник. вольт-амперні характеристики |
| УДК | 621.3.049 |
| ББК | М і НПП |
| Мова документу | Українська |
| Аннотація | Представлено результати експериментального дослідження дії атомарного водню на гетероструктури на основі Si та Ge. Показано, що обробка супроводжується змінами ВАХ. Домінуючими процесами є хемосорбція водню на поверхні, модифікація гетеромежі та дифузіяатомів плівки у приповерхневі шари напівпровідника. |
| Кількість сторінок | С. 37-42. |