Номер документа в системі: | 181985 |
Автор: | Таланин В. И., Таланин И. Е., Семикина М. Ю. |
Назва документа: | Компьютерное моделирование образования первичных ростовых микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния |
УДК | 621.315.592 |
Мова документу | Російська |
Аннотація | Представлена математическая модель и компьютерная программа расчета для процесса образования первичных ростовых микродефектов в бездислокационном монокристалле кремния на основе диссоциативного процесса диффузии. |
Кількість сторінок | С. 89-93. |