Номер документа в системі: | 182145 |
Автор: | Нашельский А. Я. |
Назва документа: | Технология полупроводниковых материалов |
Видавництво: | Металлургия |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1972 |
УДК | 621.315.592.002(075.3) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.315.5 |
Кількість сторінок | 432 с. |