| Номер документа в системі: | 182151 |
| Автор: | Нашельский А. Я. |
| Назва документа: | Технология полупроводниковых материалов |
| Видавництво: | Металлургия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1987 |
| УДК | 621.315.592.002(07) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 335 с. |