| Номер документа в системі: | 182370 |
| Автор: | Запорізьк. нац. техн. ун-т. Каф. мікро- та наноелектроніки |
| Назва документа: | Методичні вказівки до практичних занять з дисципліни "Технологія виробництва напівпровідникових матеріалів" |
| Видавництво: | ЗНТУ |
| Місто видання: | Запоріжжя |
| Рік видання: | 2011 |
| УДК | 621.315.592.002(076)+621.315.61.002(076) |
| Мова документу | Українська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Аннотація | №4145 зам.647 |
| Кількість сторінок | 50 с. |