| Номер документа в системі: | 183660 |
| Автор: | Пичугин И. Г., Таиров Ю. М. |
| Назва документа: | Технология полупроводниковых приборов |
| Видавництво: | Высш. школа |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1984 |
| УДК | 621.382.002(075.8) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.38 |
| Кількість сторінок | 288 с. |