Номер документа в системі: | 183934 |
Автор: | Таиров Ю. М. |
Назва документа: | Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов |
Видавництво: | Высш. школа |
Місто видання: | Москва |
Рік видання: | 1983 |
УДК | 621.315.592.002(075.8)+621.315.61.002(075.8) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.315 |
Кількість сторінок | 271 с. |