Аннотація | Викладено принципи створення МЕМС та основні відомості про технології їх виробництва, що дозволяють на єдиній кремнієвій підкладці виготовити мікромеханічні вузли та деталі, а також електронні системи обробки
інформації та системи керування. Розглянутомасштабні та квантово-механічні ефекти,електромеханічні аналогії,математичні моделі для проектування чутливих елементів датчиків.Наведені відомості про конструктивні та
технологічні і рішення, про інструментальні методи вивчення нанооб'ектів,
текнологічне обладнання.
Для студентів вузів за спеціальностями,пов'язаними з розробкою, виробництвом та єксплуатаціею нової техніки.Млже бути корисним магістрантам, аспірантам, а також фахівцям промисловості.
Передмова…5
Прийняті скорочення…9
Використанісимволи…12
Вступ…15
1.Теоретичні основи елементів МЕМС…24
1.1.Ефекти масштабу в мікросистемній техніці…24
1.2.Електромеханічні аналогії…32
1.3.Сенсори та актюатори…40
1.3.1.Ємнісні чутливі елементи…42
1.3.2.Індуктивні чутливі елементи…49
1.3.3.Елек |