Номер документа в системі: | 185090 |
Автор: | Томашевський О.В. |
Назва документа: | Дослідження імітансних параметрів мдн-структур багатошаровими діелектричними нанорозмірними плівками |
УДК | 621.382 |
ББК | М і НПП |
Мова документу | Українська |
Шифр документу | 621.37 |
Кількість сторінок | С. 77-78. |