| Номер документа в системі: | 185584 |
| Автор: | Шаповалов В.П., Грядун В.И., Томашевский А.В. |
| Назва документа: | Исследование процесса термического окисления кремния и свойств границы раздела Si-SIO2 |
| УДК | 621.383 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.383 |
| Кількість сторінок | C.79-84 |