Номер документа в системі: | 188233 |
Автор: | Николаев И. М. |
Назва документа: | Оборудование и технология производства полупроводниковых приборов |
Видавництво: | Высш. школа |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1977 |
УДК | 621.382.002(07) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.382 |
Кількість сторінок | 269 с. |