| Номер документа в системі: | 1907 |
| Автор: | Фалькевич Э. С., Пульнер Э. О., Червоный И. Ф., Шварцман Л. Я. |
| Назва документа: | Технология полупроводникового кремния |
| Видавництво: | Металлургия |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1992 |
| УДК | 669.782+621.315.592.2:544.28 |
| ISBN | 5-229-00740-0 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 669.7 |
| Аннотація | Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов, влияние структурных несовершенств и термической обработки на электрофизические и физико-химические свойства кремния. Описаны процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное. Рассмотрены способы получения кремния с заранее заданными свойствами, приведены области его применения. Значительное внимание уделено контролю качества продукции, технике безопасности в кремниевом производстве. Для инженерно-технических работников и специалистов полупроводниковой промышленности. Может быть полезна студентам вузов, обучающимся по соответствующим специальностям. |
| Кількість сторінок | 408 с. |