| Номер документа в системі: | 192680 |
| Назва документа: | Новые материалы для микроэлектроники |
| Видавництво: | Ин-т проблем материаловедения |
| Місто видання: | К. |
| Рік видання: | 1984 |
| УДК | 621.315.5/01:621.37/39(06)+621.3.049.77.002.3(06) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 117 с. |