Номер документа в системі: | 192682 |
Назва документа: | Новые материалы для микроэлектроники |
Видавництво: | ИПМ |
Місто видання: | К. |
Рік видання: | 1983 |
УДК | 621.315.5/61:621.37/39(06)+621.3.049.77.002.3(06) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.315 |
Кількість сторінок | 169 с. |