| Номер документа в системі: | 194391 |
| Автор: | Полтавцев Ю. Г., Князев А. С. |
| Назва документа: | Технология обработки поверхностей в микроэлектронике |
| Видавництво: | Тэхника |
| Місто видання: | К. |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 621.3.049.77.002 |
| ISBN | 5-335-00572-6 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 206 с. |