| Номер документа в системі: | 194499 |
| Автор: | Запорожский В. П., Лапшинов Б. А. |
| Назва документа: | Обработка полупроводниковых материалов |
| Видавництво: | Высш. школа |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1988 |
| УДК | 621.315:592.002(07) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 184 с. |