| Номер документа в системі: | 194727 |
| Автор: | Масленников П. Н., Лаврентьев К. А., Гингис А. Д. |
| Назва документа: | Оборудование полупроводникового производства |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1981 |
| УДК | 621.382.002.5 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 336 с. |