Номер документа в системі: | 195043 |
Автор: | Новиков В. В., Пономарев А. Н., Янюк В. И., Суслов Г. П. |
Назва документа: | Радиоционная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники |
Видавництво: | ЛДНТП |
Місто видання: | Ленинград |
Рік видання: | 1988 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.3 |
Кількість сторінок | 32 с. |