| Номер документа в системі: | 195174 |
| Автор: | Карбань В. И., Кой П., Рогов В. В. |
| Назва документа: | Обработка полупроводниковых материалов |
| Видавництво: | Наук. думка |
| Місто видання: | Киев |
| Рік видання: | 1982 |
| УДК | 621.315.592.002:621.7/.9 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 254 с. |