| Номер документа в системі: | 195374 |
| Автор: | Игнатьев В. В., Дикушин В. В., Сербинов Д. Н. |
| Назва документа: | Технологические процессы и оборудование, используемые в производстве микросхем |
| Видавництво: | ЛЭТИ |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1977 |
| УДК | 621.3.049.77.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 89 с. |