| Номер документа в системі: | 195438 |
| Назва документа: | Технология, проектирование и надежность интегральных полупроводниковых схем |
| Видавництво: | МИЭТ |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1988 |
| УДК | 621.3.049.77.002(06)+621.3.049.77.001.2(06) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3.049.77 |
| Кількість сторінок | 122 с. |