Номер документа в системі: | 195553 |
Автор: | Толливер Д., Новицки Р., Хесс П., Горчика Т., Горовитц Б., Крюгер Дж., О'Тул М., Риссмен П., Флэм Д., Донелли В., Ибботсон Д., Смит Д., Сайа Р., Ли Р., Хит Б., Мейер Т., Харшбарджер У., Хориике И., Чоу Т. |
Назва документа: | Плазменная технология в производстве СБИС |
Видавництво: | Мир |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1987 |
УДК | 621.3.049.77.1.14.002:533.9 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.3 |
Кількість сторінок | 472 с. |