| Номер документа в системі: | 195689 |
| Назва документа: | Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике |
| Видавництво: | Наука |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1972 |
| УДК | 621.3.049.772+539.23 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 114 с. |